[实用新型]一种高品质因子高共振频率的带针尖的微悬臂梁扫描器有效
| 申请号： | 201420478769.X | 申请日： | 2014-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN204008700U | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 智刚峰;李全锋;王凯涛;张宗哲;宋晓玲 | 申请（专利权）人： | 河南师范大学 |
| 主分类号： | G01Q60/10 | 分类号： | G01Q60/10;G01Q60/16 |
| 代理公司： | 新乡市平原专利有限责任公司 41107 | 代理人： | 路宽 |
| 地址： | 453007 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种高品质因子高共振频率的带针尖的微悬臂梁扫描器，包括微纳加工工艺一体成型的微米级针尖和微悬臂梁，其中针尖位于微悬臂梁的窄面上且针尖的指向与该微悬臂梁窄面法线的夹角不大于45°，所述的针尖和微悬臂梁的材料均为单晶硅或单晶二氧化硅，在针尖和微悬臂梁上均镀有铂铱合金层、黄金、钴、铬或镍。本实用新型利用光刻技术加腐蚀削尖技术制作出的曲率半径为2nm的针尖适合STM的针尖，制作出的高品质因子Q高共振频率的带针尖的微悬臂梁可用作STM的扫描器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 品质 因子 共振频率 针尖 悬臂梁 扫描器 | ||
【主权项】：
一种高品质因子高共振频率的带针尖的微悬臂梁扫描器，其特征在于包括微纳加工工艺一体成型的微米级针尖和微悬臂梁，其中针尖位于微悬臂梁的窄面上且针尖的指向与该微悬臂梁窄面法线的夹角不大于45°，所述的针尖和微悬臂梁的材料均为单晶硅或单晶二氧化硅，在针尖和微悬臂梁上均镀有铂铱合金、黄金、钴、铬或镍。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河南师范大学;，未经河南师范大学;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201420478769.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电子元件调试检测箱
- 下一篇：一种基于太赫兹时域光谱技术的检测系统
