[实用新型]驱动装置及扫描狭缝单元有效
| 申请号： | 201420381081.X | 申请日： | 2014-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN203965800U | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 于溅波;何军 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种驱动装置及扫描狭缝单元，通过支撑架上设置第一轴承，刀背上设置第二轴承，弹簧一端固定于所述第一轴承的一连接点上，弹簧另一端固定于所述第二轴承的一连接点上，当马达驱动所述刀背运动时，弹簧将发生一定的伸缩运动，此时弹簧与支撑架以及刀背之间将发生一定的转动，该转动分别由转动性能比较好的第一轴承及第二轴承完成，由此能够避免弹簧与支撑架以及刀背(转动)摩擦，进而能够避免碎屑、颗粒的产生，提高了驱动装置的可靠性，保证了扫描狭缝的清洁，曝光的平整性。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 装置 扫描 狭缝 单元 | ||
【主权项】：
一种驱动装置，其特征在于，包括：支撑架及设置于所述支撑架上的第一轴承；刀背及设置于所述刀背上的第二轴承；弹簧，所述弹簧一端固定于所述第一轴承的一连接点上，所述弹簧另一端固定于所述第二轴承的一连接点上；及驱动所述刀背运动的马达。
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