[实用新型]从氯硅烷中提纯三氯氢硅的系统有效
申请号: | 201420312043.9 | 申请日: | 2014-06-12 |
公开(公告)号: | CN203959832U | 公开(公告)日: | 2014-11-26 |
发明(设计)人: | 濮希杰;李锋;王利强;张艳春;张晓峰 | 申请(专利权)人: | 国电内蒙古晶阳能源有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 李志东 |
地址: | 010321 内蒙古自治*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种从氯硅烷中提纯三氯氢硅的系统,该系统包括:第一精馏单元,其具有第一精馏进料口,三氯氢硅出口、第一冷凝后液出口、第一冷凝后气出口和第一液态重组分出口;第二精馏装置,其具有第二精馏进料口、第二冷凝后液出口、第二冷凝后气出口和第二液态重组分出口,第二精馏进料口与第一液态重组分出口相连;冷凝装置,其具有冷凝液进口、第三冷凝后液出口和第三冷凝后气出口,冷凝液进口与第一冷凝后气出口和第二冷凝后气出口相连;以及第三精馏装置,其具有第三精馏进料口、第四冷凝后液出口、第四冷凝后气出口和第三液态重组分出口,第三精馏进料口与第一冷凝后液出口和第三冷凝冷凝后液出口相连。 | ||
搜索关键词: | 硅烷 提纯 三氯氢硅 系统 | ||
【主权项】:
一种从氯硅烷中提纯三氯氢硅的系统,其特征在于,包括:第一精馏单元,所述第一精馏单元具有第一精馏进料口,三氯氢硅出口、第一冷凝后液出口、第一冷凝后气出口和第一液态重组分出口;第二精馏装置,所述第二精馏装置具有第二精馏进料口、第二冷凝后液出口、第二冷凝后气出口和第二液态重组分出口,所述第二精馏进料口与所述第一液态重组分出口相连;冷凝装置,所述冷凝装置具有冷凝液进口、第三冷凝后液出口和第三冷凝后气出口,所述冷凝液进口与所述第一冷凝后气出口和第二冷凝后气出口相连;以及第三精馏装置,所述第三精馏装置具有第三精馏进料口、第四冷凝后液出口、第四冷凝后气出口和第三液态重组分出口,所述第三精馏进料口与所述第一冷凝后液出口和所述第三冷凝后液出口相连。
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