[实用新型]胶盘转动装置及具有胶盘转动装置的固晶机有效
申请号: | 201420286829.8 | 申请日: | 2014-05-30 |
公开(公告)号: | CN203941939U | 公开(公告)日: | 2014-11-12 |
发明(设计)人: | 徐育埙;谢洹圳;萧钦腾;陈圣杰;张添贺 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L21/67 |
代理公司: | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人: | 王正茂;丛芳 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种胶盘转动装置及具有胶盘转动装置的固晶机。该胶盘转动装置包含马达、第一磁性环、第二转轴、第二磁性环、胶盘与磁吸元件。马达具有第一转轴。第一磁性环位于第一转轴上,使第一磁性环随第一转轴转动。第二转轴其长度方向垂直或平行于第一转轴的长度方向,且第二转轴的一端具有磁吸部。第二磁性环位于第二转轴相对磁吸部的另一端,且与第一磁性环相隔一个间隙。当第一磁性环转动时,第二磁性环受磁力带动而转动。胶盘具有连接部与环绕连接部的胶体容置部。磁吸元件位于连接部上,使连接部可拆卸地吸附于第二转轴的磁吸部。本实用新型的胶盘转动装置运转时可避免产生粉尘,同时可节省胶盘装置保养的时间、人力与材料。 | ||
搜索关键词: | 转动 装置 具有 固晶机 | ||
【主权项】:
一种胶盘转动装置,其特征在于,所述胶盘转动装置包含:马达,其具有第一转轴;第一磁性环,其位于所述第一转轴上,使所述第一磁性环随所述第一转轴转动;第二转轴,其长度方向垂直或平行于所述第一转轴的长度方向,且所述第二转轴的一端具有磁吸部;第二磁性环,其位于所述第二转轴相对所述磁吸部的另一端,且与所述第一磁性环相隔一个间隙,当所述第一磁性环转动时,所述第二磁性环受磁力带动而转动;胶盘,其具有连接部与环绕所述连接部的胶体容置部;以及磁吸元件,其位于所述连接部上,使所述连接部可拆卸地吸附于所述第二转轴的所述磁吸部。
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