[实用新型]一种多晶硅反应废弃物处理系统

摘要

本实用新型提供一种多晶硅反应废弃物处理系统，该系统包括：废弃物输送管道、气体输送管道、一级洗涤塔、废液回收装置和碱液供给装置，通过将废弃物输送管道与气体输送管道和一级洗涤塔相连，借助惰性气体的压力，能够将残留在废弃物输送管道内的多晶硅反应废弃物排入一级洗涤塔，并利用碱液供给装置向一级洗涤塔输送碱液，洗淋多晶硅反应废弃物，可以有效吸收多晶硅反应废弃物中的氯硅烷和氯化氢，洗淋后生成的废液排入废液回收装置，更环保，更安全，另外，也能够减小对生产装置表面的腐蚀程度，降低生产投资成本。

主权项

一种多晶硅反应废弃物处理系统，其特征在于，包括：用于输送多晶硅反应废弃物的废弃物输送管道、用于输送惰性气体的气体输送管道、一级洗涤塔、废液回收装置和用于向一级洗涤塔输送碱液的碱液供给装置；废弃物输送管道分别与气体输送管道和一级洗涤塔相连，能够借助气体输送管道输送的惰性气体的压力，将残留在废弃物输送管道内的多晶硅反应废弃物排入一级洗涤塔；一级洗涤塔分别与碱液供给装置和废液回收装置相连，能够利用碱液供给装置输送的碱液，洗淋排入一级洗涤塔的多晶硅反应废弃物，并将洗淋后生成的废液和废渣排入废液回收装置。