[实用新型]电路功率管结构

摘要

电路功率管结构，包括位于半导体衬底上方的第一有源区和第二有源区，所述第一有源区和第二有源区为交错排列的条形阵列形式，以及分别与第一有源区连接的第一电极，与第二有源区连接的第二电极；所述第一电极和第二电极属于同一金属层，所述第二电极由左侧第二电极和右侧第二电极组成，所述左侧第二电极和右侧第二电极分别位于第一电极左右两侧，所述第一电极与左侧第二电极、右侧第二电极的邻近处成形状互补的矩形锯齿形状，所述左侧第二电极、第一电极、右侧第二电极成轴对称分布。本实用新型金属电极为交错式锯齿设计，在整个功率管阱源漏电流交错分布，提高了电流均匀性，并对功率管的散热有利，提高了功率管的工作性能。

主权项

电路功率管结构，包括位于半导体衬底上方的第一有源区（4）和第二有源区（5），所述第一有源区和第二有源区为交错排列的条形阵列形式，以及分别与第一有源区连接的第一电极，与第二有源区连接的第二电极；其特征在于，所述第一电极（1）和第二电极属于同一金属层，所述第二电极由左侧第二电极（2）和右侧第二电极（3）组成，所述左侧第二电极和右侧第二电极分别位于第一电极左右两侧，所述第一电极与左侧第二电极、右侧第二电极的邻近处成形状互补的矩形锯齿形状，所述左侧第二电极、第一电极、右侧第二电极成轴对称分布。2.一种如权利要求1所述电路功率管结构，其特征在于，所述第一有源区和/或第二有源区中部具有绝缘中断结构（6），所述绝缘中断结构位于第一电极（1）下方。  3. 一种如权利要求2所述电路功率管结构，其特征在于，所述绝缘中断结构为浅注入有源区或非注入区。4. 一种如权利要求1所述电路功率管结构，其特征在于，所述矩形锯齿结构的锯齿末端宽度不小于最小线宽10倍。5. 一种如权利要求1所述电路功率管结构，其特征在于，所述第一电极和第二电极为金属顶层，直接与有源区相连或通过顶层金属以下的各金属层与有源区相连。 6.一种如权利要求5所述电路功率管结构，其特征在于：所述第一电极、左侧第二电极、右侧第二电极上均至少分布有两个以上的引脚（7）。