[实用新型]基于移动支撑的刚度频率可调的微进给装置

摘要

本实用新型涉及用快刀伺服原理加工光学自由曲面的设备，本实用新型具体涉及基于移动支撑的刚度频率可调的微进给装置，具有弹性的薄膜组设于微动工作台的两侧，并将微动工作台固定于基座内，驱动电机固定于底板，其电机轴连接基座；还包括步进电机、爪盘和双向滚珠丝杆机构；双向滚珠丝杆机构沿着薄膜组的方向，通过轴承安装于基座，步进电机与双向滚珠丝杆机构连接；两个爪盘分别固定于双向滚珠丝杆结构的移动件上，分别位于基座的两侧，爪盘设有沿着薄膜组方向设置的爪槽，薄膜组卡装于爪槽内。本实用新型采用上述结构，调节薄膜的移动支撑位置，实现固有频率的调节，与预紧力调节相比，消耗能源小。

主权项

基于移动支撑的刚度频率可调的微进给装置，包括基座、底板、微动工作台、薄膜组和驱动电机，所述基座固定于底板，具有弹性的所述薄膜组设于所述微动工作台的两侧，并将所述微动工作台固定于所述基座内，所述驱动电机固定于底板，其电机轴连接所述基座，其特征在于：还包括步进电机、爪盘和双向滚珠丝杆机构；所述双向滚珠丝杆机构沿着所述薄膜组的方向，通过轴承安装于所述基座，所述步进电机与所述双向滚珠丝杆机构连接；两个所述爪盘分别固定于所述双向滚珠丝杆结构的移动件上，分别位于所述基座的两侧，所述爪盘设有沿着所述薄膜组方向设置的爪槽，所述薄膜组卡装于所述爪槽内。