[实用新型]一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置有效
| 申请号： | 201420243514.5 | 申请日： | 2014-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN203834000U | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 罗建冬 | 申请（专利权）人： | 厦门映日新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C4/12 | 分类号： | C23C4/12 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 方惠春 |
| 地址： | 361000 福建省厦*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置，该自动抽气装置位于旋转靶材喷涂罐体一侧并与该旋转靶材喷涂罐体内腔连通，该自动抽气装置包括水泵、真空挡板阀及电磁阀，所述真空挡板阀通过法兰盘固定于罐体一侧抽气管上，所述法兰盘下方设一止回阀，该止回阀下方通过软管与水泵连通，形成真空抽气通道。本实用新型能够全自动的抽除真空等离子喷涂过程中在真空腔体内产生的气体，降低生产过程中的人力成本和时间成本，减低生产异常率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 喷涂 旋转 自动 装置 | ||
【主权项】：
一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置，其特征在于：该自动抽气装置位于旋转靶材喷涂罐体一侧并与该旋转靶材喷涂罐体内腔连通，该自动抽气装置包括水泵、真空挡板阀及电磁阀，所述真空挡板阀通过法兰盘固定于罐体一侧抽气管上，所述法兰盘下方设一止回阀，该止回阀下方通过软管与水泵连通，形成真空抽气通道。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
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C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
