[实用新型]一种废液监控系统有效
| 申请号： | 201420226931.9 | 申请日： | 2014-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN203858496U | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 朱江宁;汪建德;彭志辉 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种废液监控系统，包括废液收集器、及执行器，还包括：用于采集现场废液收集器的废液信息，将采集到的废液信息换算成数据信号输出至执行器，以便执行器根据输出数据信号实现现场的输出控制的局部控制盘；局部控制盘包括用于感测和采集现场所述废液收集器的废液信息，并将废液信息换算成数据信号的感测和逻辑控制单元；及用于输出数据信号至执行器的输出单元，与感测和逻辑控制单元连接。本实用新型废把所有的控制从PLC转移到了局部控制盘上，降低了半导体工厂中庞大的远程控制系统中从检测到执行过程中任一环节出现故障的几率，实现了整个系统控制的现场化，如果其中有任何一个环节出现问题，那么就可得知及时对其进行现场维修。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 废液 监控 系统 | ||
【主权项】：
一种废液监控系统，包括人机交互界面、集线器、中央处理器、废液收集器、及执行器，其特征在于，所述废液监控系统还包括： 用于采集现场废液收集器的废液信息，将采集到的废液信息换算成数据信号输出至所述执行器，以便所述执行器根据输出数据信号实现现场的输出控制的局部控制盘；所述局部控制盘包括 用于感测和采集现场所述废液收集器的废液信息，并将所述废液信息换算成数据信号的感测和逻辑控制单元；及 用于输出所述数据信号至所述执行器的输出单元，与所述感测和逻辑控制单元连接。
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