[实用新型]一种感光膜曝光装置有效
申请号: | 201420218809.7 | 申请日: | 2014-04-30 |
公开(公告)号: | CN203930329U | 公开(公告)日: | 2014-11-05 |
发明(设计)人: | 刘维军;郭宝贵 | 申请(专利权)人: | 遂宁市维海电子科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人: | 袁英 |
地址: | 629000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种感光膜曝光装置,它包括装载框架(1)、曝光箱(2)和装载箱(3),曝光箱(2)和装载箱(3)上均设置有用于安装装载框架(1)的水平导轨,装载框架(1)包括上框架(17)和下框架(18),上框架(17)的底面上设置有上透光板(8),下框架(18)的凹槽(9)的底面上设置有下透光板(10),下框架(18)内部设置有抽真空通道、抽真空气孔(11)和抽真空接头(12)。本实用新型的有益效果是:可以同时对薄板两个表面贴附的感光膜同时进行曝光,从而提高了曝光效率,装载框架的结构设计使得装载装置与曝光光源安装结构为分体结构,装载工作方便、容易进行,同时能够满足真空条件的工况需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 感光 曝光 装置 | ||
【主权项】:
一种感光膜曝光装置,其特征在于:它包括装载框架(1)、以及依次连接为一体的曝光箱(2)和装载箱(3),曝光箱(2)和装载箱(3)上均设置有用于安装装载框架(1)的水平导轨,曝光箱(2)位于水平导轨的上下两侧均设置有曝光光源(6),所述的装载框架(1)包括上框架(17)和下框架(18),上框架(17)和下框架(18)通过设置于后侧面上的合页(7)连接为一体,上框架(17)的底面上设置有上透光板(8),下框架(18)的顶面上设置有容置上框架(17)的凹槽(9),该凹槽(9)的底面上设置有下透光板(10),下框架(18)内部设置有抽真空通道,下框架(18)位于上透光板(8)和下透光板(10)之间的部分上设置有抽真空气孔(11),下框架(18)上还设置有用于连接抽真空管路的抽真空接头(12),抽真空接头(12)通过抽真空通道与抽真空气孔(11)连通,所述的下框架(18)的左右两侧均设置有水平凸棱(13),下框架(18)的水平凸棱(13)滑动安装于曝光箱(2)和装载箱(3)的水平导轨内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于遂宁市维海电子科技有限公司,未经遂宁市维海电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201420218809.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。