[实用新型]一种多晶炉测晶装置

摘要

本实用新型涉及一种多晶炉测晶装置，包括大法兰、安装板、电机、减速机和直线单元以及安装在直线单元上并通过电机驱动的提升座，提升座上设有石英管，石英管的开口端穿出大法兰，石英管内设有石墨棒，提升座上设有磁铁和与磁铁相连接的限位开关，磁铁贴近石英管侧壁上，所述的磁铁带动石墨棒在石英管内上下移动。所述的一种多晶炉测晶装置，采用此种设计的测晶装置，能够自动测量晶体位置，记录下每次测量的位置供工艺人员参考调整相关参数，可以很方便的测量出晶体的位置，节省了大量的人力，而且石墨棒可以反复使用，也节省了大量的资源。

主权项

一种多晶炉测晶装置，其特征是：包括用于安装在测量部位上的大法兰（1）、设在大法兰（1）上的安装板（2）、设在安装板（2）端部的电机（3）、连接在电机（3）输出轴上的减速机（4）和连接在减速机（4）输出端上的直线单元（5）以及安装在直线单元（5）上并通过电机（3）驱动的提升座（6），所述的提升座（6）上设有石英管（7），石英管（7）的开口端穿出大法兰（1），石英管（7）内设有石墨棒（9），提升座（6）上设有磁铁（10）和与磁铁（10）相连接的限位开关（8），磁铁（10）贴近石英管（7）侧壁上，所述的磁铁（10）带动石墨棒（9）在石英管（7）内上下移动。