[实用新型]多层连续式电浆辅助化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种多层连续式电浆辅助化学气相沉积设备，包含有一腔体、至少一气体源、一第一沉积组件及一第二沉积组件。该气体源供应一输入该腔体内的气体，该第一沉积组件设置于该腔体内，包含一供承载一第一基板的第一载板以及相对设置于该第一载板的两侧并以该气体产生一第一电浆的一第一电极组，该第二沉积组件与该第一沉积组件相邻，并包含一供承载一第二基板的第二载板以及相对设置于该第二载板的两侧并以该气体产生一第二电浆的一第二电极组。据此，本实用新型可有效利用该腔体的空间，同时对该第一基板及该第二基板进行薄膜成长，增加产量。

主权项

一种多层连续式电浆辅助化学气相沉积设备，其特征在于，包含有： 一腔体； 至少一供应输入该腔体内的一气体的气体源； 一设置于该腔体内的第一沉积组件，该第一沉积组件包含一供承载一第一基板的第一载板以及相对设置于该第一载板的两侧并以该气体产生一第一电浆的一第一电极组；以及 一设置于该腔体内并与该第一沉积组件相邻的第二沉积组件，该第二沉积组件包含一供承载一第二基板的第二载板以及相对设置于该第二载板的两侧并以该气体产生一第二电浆的一第二电极组。