[实用新型]曝光设备中的透镜冷却装置有效
| 申请号： | 201420067126.6 | 申请日： | 2014-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN203732878U | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 黄章咏;吴韦良;刘健行 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 张浴月;李玉锁 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种曝光设备中的透镜冷却装置，包括：至少一个透镜；至少部分包覆所述至少一个透镜的冷却套，所述冷却套为中空结构，包括进口和出口，在所述中空结构中具有用于冷却的流体；制冷装置，与所述冷却套连接，用于将对液体进行制冷，并将制冷之后的液体传送至所述冷却套；温度传感器，与所述冷却套连接，用于对冷却套的温度进行感测；温度控制装置，与所述温度传感器和所述制冷装置连接，用于根据所述温度传感器的感测结果控制制冷装置的运行。本实用新型提出的透镜冷却装置，能够得到准确地控制透镜温度，并且使透镜与透镜之间的温度没有较大差异，提高成像精度。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 设备 中的 透镜 冷却 装置 | ||
【主权项】：
一种曝光设备中的透镜冷却装置，包括：至少一个透镜；冷却套，至少部分包覆所述至少一个透镜，所述冷却套为中空结构，包括进口和出口，在所述中空结构中具有用于冷却的流体；制冷装置，与所述冷却套连接，用于将对流体进行制冷，并将制冷之后的流体传送至所述冷却套；温度传感器，与所述冷却套连接，用于对冷却套的温度进行感测；温度控制装置，与所述温度传感器和所述制冷装置连接，用于根据所述温度传感器的感测结果控制制冷装置的运行。
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