[实用新型]一种晶片边缘加工完整度检测装置有效

专利信息
申请号: 201420064537.X 申请日: 2014-02-13
公开(公告)号: CN203595503U 公开(公告)日: 2014-05-14
发明(设计)人: 廖波;林文杰;李烨 申请(专利权)人: 南京京晶光电科技有限公司
主分类号: G01B21/00 分类号: G01B21/00
代理公司: 南京众联专利代理有限公司 32206 代理人: 顾进
地址: 210000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种晶片边缘加工完整度检测装置,其包括晶片边缘标记装置与晶片放置装置;所述晶片边缘标记包括机体与滚轴;所述滚轴外侧设置有摩擦轮,摩擦轮与滚轴之间采用固定连接;所述摩擦轮不与机体间发生接触;所述摩擦轮表面附着有晶片着色液;所述晶片放置装置包含有成圆形的晶片放置隔栏,晶片放置隔栏中至少设置有一处采用镂空设计的晶片标记区域,所述摩擦轮的侧表面在晶片标记区域与晶片放置隔栏所在的圆面相接触;上述晶片边缘加工完整度检测装置,其可根据晶片边缘的着色情况,一方面可使得对未加工的晶片在后续加工中确保对其加工均匀,以提升加工精度;同时亦可直观的观察已加工的晶片的加工状况,以确保产品合格率。
搜索关键词: 一种 晶片 边缘 加工 完整 检测 装置
【主权项】:
一种晶片边缘加工完整度检测装置,其特征在于,所述晶片边缘加工完整度检测装置包括晶片边缘标记装置与晶片放置装置;所述晶片边缘标记包括机体,以及与机体间采用可转动连接的滚轴;所述滚轴外侧设置有摩擦轮,摩擦轮与滚轴之间采用固定连接;所述摩擦轮不与机体间发生接触;所述摩擦轮表面附着有晶片着色液;所述晶片放置装置包含有成圆形的晶片放置隔栏,晶片放置隔栏中至少设置有一处采用镂空设计的晶片标记区域,所述摩擦轮的侧表面在晶片标记区域与晶片放置隔栏所在的圆面相接触。
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