[发明专利]上板机及上板方法

摘要

一种上板机，包括上板机本体和超声波感应装置。上板机本体包括上板装置及传送装置，上板装置包括上板框及控制上板框上下移动的上下螺杆，上板框用于盛放基板；传送装置包括机械臂、用于控制机械臂移动的气缸及用于连接机械臂和气缸的固定连接板，机械臂上设有用于吸附基板的真空吸盘；超声波感应装置与上板机相连，其包括底座、固定在所述底座上的主支撑支架、设置在主支撑支架上的超声波感应器及伸缩气缸；气缸和所述伸缩气缸配合作用使机械臂将基板移动至所述超声波感应器之间以进行超声检测。在上述上板机及上板方法中，在上板的过程中，通过超声检测基板的数量再进一步处理就可以在防止叠板。

主权项

一种上板机，其特征在于，包括：上板机本体，包括：上板装置，包括上板框及控制所述上板框上下移动的上下螺杆，所述上板框用于盛放基板；及传送装置，包括机械臂、用于控制所述机械臂移动的气缸及用于连接所述机械臂和所述气缸的固定连接板，所述机械臂上设有用于吸附基板的真空吸盘；及超声波感应装置，与所述上板机相连，所述超声波感应装置包括底座、固定在所述底座上的主支撑支架、设置在所述主支撑支架上的超声波感应器及伸缩气缸；所述气缸和所述伸缩气缸配合作用使所述机械臂将所述基板移动至所述超声波感应器之间以进行超声检测。