[发明专利]表面翘曲度测量装置及方法在审
| 申请号： | 201410850396.9 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN105806301A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;傅锦超 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/32 | 分类号： | G01B21/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 万铁占;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种表面翘曲度测量装置及方法，其中表面翘曲度测量装置包括：基座；架设在基座上的移动机构；测量机构，包括：测量部和从测量部伸出的探针；测量部与移动机构连接，探针用于接触待测表面、并受待测表面的压力而朝测量部内移动，测量部用于测量探针的移动位移；测量机构和/或移动机构能够平行于待测表面作水平移动。本方案的表面翘曲度测量装置结构简单，操作方便，成本较低，且测量精确。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 曲度 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种表面翘曲度测量装置，其特征在于，包括：基座；架设在所述基座上的移动机构；测量机构，包括：测量部和从所述测量部伸出的探针；所述测量部与移动机构连接，所述探针用于接触待测表面、并能够受待测表面的压力而朝测量部内移动，所述测量部用于测量探针的移动位移；所述测量机构和/或移动机构能够平行于待测表面作水平移动。
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