[发明专利]一种电感耦合等离子反应器有效
| 申请号： | 201410849945.0 | 申请日： | 2014-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN105810545B | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 张辉;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种电感耦合等离子反应器，包括反应腔，位于反应腔顶部的绝缘材料窗，位于反应腔内下方用于固定基片的基座，绝缘材料窗上方包括一个铁芯组件，其特征在于铁芯组件包括一个横向延伸部和下方的多个向下延伸部，通过设计各个向下延伸部到横向延伸部之间的磁阻，使得最终通过各个向下延伸部的磁通数值从绝缘材料窗中心到外围逐渐增加，对应的下方反应腔内的等离子体浓度也是逐渐增加。经过扩散后到达基片表面的等离子浓度更均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电感 耦合 等离子 反应器 | ||
【主权项】：
一种电感耦合等离子反应器，包括：反应腔，位于反应腔顶部的绝缘材料窗，位于反应腔内下方用于固定基片的基座，绝缘材料窗上方包括一个铁芯组件，其特征在于：所述铁芯组件包括至少一个铁芯，所述铁芯包括：一个横向延伸部，所述横向延伸部包括第一端位于绝缘材料窗外围区域上方，第二端位于绝缘材料窗中心区域上方；所述第一端包括一个第一向下延伸部，第二端包括一个第三向下延伸部，第一和第三向下延伸部之间还包括第二向下延伸部，所述第二向下延伸部位于横向延伸部下方和绝缘材料窗中间区域上方；所述横向延伸部包括：第一部分横向延伸部，位于所述第一和第二向下延伸部之间；第二部分横向延伸部，位于所述第二和第三向下延伸部之间；一个电感线圈连接到一个射频电源，电感线圈产生的射频电磁场使得所述第一部分横向延伸部通过第一磁通；所述第二部分横向延伸部和第三向下延伸部的磁阻小于第二向下延伸部的磁阻，使得通过第一、第二、第三向下延伸部的磁通量依次减少。
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