[发明专利]薄膜晶体管基板、其制作方法及显示面板

摘要

本发明提供一种薄膜晶体管基板、其制作方法及具有此薄膜晶体管基板的显示面板。该显示面板包括薄膜晶体管基板、与该薄膜晶体管基板相对设置的对向基板及夹设于该薄膜晶体管基板与该对向基板之间的液晶层。本发明的显示面板，将彩色滤光层制作于薄膜晶体管基板上，并利用正型光阻搭配负型光阻同时使用，以制得具有小尺寸接触孔的彩色滤光层，在有效降低显示面板厚度，减少由于对位偏差导致的漏光、透过率降低等不良的同时，增加显示面板的解析度，提高显示面板的显示效果。

主权项

1.一种薄膜晶体管基板的制作方法：提供基底，于该基底上形成多个薄膜晶体管；于该薄膜晶体管上形成第一光阻层；图案化该第一光阻层，于对应多个该薄膜晶体管的漏极的位置得到多个间隔物，每个该间隔物之间具有间隙；于该间隙形成彩色滤光层，该彩色滤光层覆盖该薄膜晶体管；形成该彩色滤光层的同时，对该间隔物及该彩色滤光层同时进行曝光显影，去除该间隔物，以得到暴露出部分漏极的接触孔；于该彩色滤光层上形成像素电极，该像素电极通过该接触孔与该薄膜晶体管的漏极电性连接。