[发明专利]薄膜太阳能电池前电极用绒面AZO薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201410842463.2 | 申请日： | 2014-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN104465890A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 徐根保;王芸;杨勇;曹欣;姚婷婷;张宽翔;金克武;蒋继文 | 申请（专利权）人： | 中国建材国际工程集团有限公司;蚌埠玻璃工业设计研究院 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人： | 王法男 |
| 地址： | 200061 上海市普*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种薄膜太阳能电池前电极用绒面AZO薄膜的制备方法，包括如下步骤：(1)清洗玻璃基片，后用高压N2吹干；(2)采用反应离子束技术对所述玻璃基片表面进行刻蚀，使所述玻璃基片表面具有绒面结构；并且(3)采用磁控溅射技术在所述玻璃基片表面的绒面结构上沉积450～750纳米的AZO薄膜，从而得到绒面结构的AZO薄膜。本发明开发了一种新的用于薄膜太阳能电池前电极的绒面AZO薄膜的制备方法，先采用离子束技术，对玻璃基片表面进行刻蚀处理，获得绒面结构的玻璃基片，然后在玻璃基片上以磁控溅射技术沉积具有绒面结构的AZO薄膜，避免了现有刻蚀技术中对膜层厚度的浪费，同时也避免了湿法刻蚀工艺中产生的废酸腐蚀液对环境造成的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 太阳能电池 电极 用绒面 azo 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜太阳能电池前电极用绒面AZO薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)清洗玻璃基片，后用高压N2吹干；(2)采用反应离子束技术对所述玻璃基片表面进行刻蚀，使所述玻璃基片表面具有绒面结构；并且(3)采用磁控溅射技术在所述玻璃基片表面的绒面结构上沉积450～750纳米的AZO薄膜，从而得到绒面结构的AZO薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国建材国际工程集团有限公司;蚌埠玻璃工业设计研究院，未经中国建材国际工程集团有限公司;蚌埠玻璃工业设计研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410842463.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：有机电致发光装置及其制备方法
- 下一篇：贴合器件的制造装置及制造方法
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
