[发明专利]埋入指纹识别芯片的基板及其加工方法在审
申请号: | 201410842337.7 | 申请日: | 2014-12-30 |
公开(公告)号: | CN105810599A | 公开(公告)日: | 2016-07-27 |
发明(设计)人: | 丁鲲鹏;陈一杲;孔令文 | 申请(专利权)人: | 深南电路有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/56;H01L23/498;H01L23/31 |
代理公司: | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人: | 徐翀 |
地址: | 518053 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种埋入指纹识别芯片的基板及其加工方法,以降低埋入指纹识别芯片的基板的工艺复杂度和封装成本。本发明一些可行的实施方式中,方法包括:提供指纹识别芯片和载板,将指纹识别芯片的具有焊盘的一面贴装在载板上;在载板的贴装了指纹识别芯片的一面层叠增层结构并压合,形成附着在载板上的基板,指纹识别芯片埋入基板中;将载板与基板分离,基板的一面显露出指纹识别芯片的具有焊盘的一面;在基板的显露指纹识别芯片的一面形成第一金属层;对基板进行外层图形加工,在基板的显露指纹识别芯片的一面形成焊盘连接线路,焊盘连接线路与指纹识别芯片的焊盘连接。 | ||
搜索关键词: | 埋入 指纹识别 芯片 及其 加工 方法 | ||
【主权项】:
一种埋入指纹识别芯片的基板的加工方法,其特征在于,包括:提供指纹识别芯片和载板,将所述指纹识别芯片的具有焊盘的一面贴装在所述载板上;在所述载板的贴装了所述指纹识别芯片的一面层叠增层结构并压合,形成附着在所述载板上的基板,所述指纹识别芯片埋入所述基板中;将所述载板与所述基板分离,所述基板的一面显露出所述指纹识别芯片的具有焊盘的一面;在所述基板的显露所述指纹识别芯片的一面形成第一金属层;对所述基板进行外层图形加工,在所述基板的显露所述指纹识别芯片的一面形成焊盘连接线路,所述焊盘连接线路与所述指纹识别芯片的焊盘连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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