[发明专利]一种钕铁硼永磁体表面保护方法在审
| 申请号： | 201410833542.7 | 申请日： | 2014-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN105803408A | 公开（公告）日： | 2016-07-27 |
| 发明（设计）人： | 白晓刚;潘广麾;李大军 | 申请（专利权）人： | 天津三环乐喜新材料有限公司;北京中科三环高技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京乾诚五洲知识产权代理有限责任公司 11042 | 代理人： | 付晓青;李广文 |
| 地址： | 300457 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钕铁硼永磁体的表面保护方法，所述表面保护方法包括以下步骤：(1)材料磨光：对所述永磁材料进行常规磨光；(2)脱脂除油：加入碱性溶液对磨光后的永磁材料进行常规脱脂除油；(3)采用湿法喷砂进行常规除锈；(4)采用真空磁控溅射沉积铝；(5)真空镀三氧化三铝保护层。本发明采用磁控溅射真空镀铝和三氧化二铝的方式不仅提高钕铁硼永磁体真空镀铝的结合力而且还提高防腐性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钕铁硼 永磁体 表面 保护 方法 | ||
【主权项】：
一种永磁材料的表面处理方法，其特征在于，所述表面处理方法包括如下步骤：(1)材料磨光：对所述永磁材料进行常规磨光；(2)脱脂除油：加入碱性溶液对磨光后的永磁材料进行常规脱脂除油；(3)采用湿法喷砂进行常规除锈；(4)采用真空磁控溅射沉积铝：在真空并惰性气体保护下，采用直流电源，在温度230‑250℃的真空烧结炉中进行磁控溅射镀铝，得到铝层；以及(5)真空镀三氧化三铝保护层：通入氧气，氧气和惰性气体比例为1：3～1：5，在真空下采用射频电源，在温度200～230℃下进行磁控溅射镀三氧化二铝层，铝层厚度1‑3微米。
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