[发明专利]惯性测量模块及三轴加速度计有效
| 申请号： | 201410826621.5 | 申请日： | 2014-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN104459204A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 张廷凯 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 马佑平;王昭智 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种惯性测量模块及三轴加速度计，包括位于基板上的第一极片，以及通过弹性十字梁悬空连接在基板上方的质量块；所述弹性十字梁包括第一弹性梁、第二弹性梁，第二弹性梁的两端连接在基板的锚点上，第一弹性梁的两端连接质量块；所述第一弹性梁和/或第二弹性梁的中心偏离质量块的重心；所述质量块在Y轴、X轴方向上还设置有第一可动电极、第二可动电极；本发明的惯性测量模块，平面内的某一轴(X轴、Y轴)的运动不会受到结构偏心特性的影响，使得X轴、Y轴的运动均是线运动，从而不会加剧轴间的耦合；另一方面也不会降低质量块在X轴、Y轴上的位移量，提高了电容检测的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 测量 模块 加速度计 | ||
【主权项】：
一种惯性测量模块，其特征在于，包括：基板，以及位于基板上作为下电极的第一极片(4)，悬空在基板上方的质量块(1)；所述质量块(1)上设有与第一极片(4)组成Z轴检测电容的上电极；用于连接基板和质量块(1)的弹性十字梁，所述弹性十字梁包括第一弹性梁(12)以及第二弹性梁(11)，其中，第二弹性梁(11)的两端连接在基板的锚点(6)上，第一弹性梁(12)的两端连接质量块(1)，或者是第一弹性梁(12)的两端连接在基板的锚点(6)上，第二弹性梁(11)的两端连接质量块(1)；所述第一弹性梁(12)和/或第二弹性梁(11)的中心偏离质量块(1)的重心；所述质量块(1)在Y轴、X轴方向上还设置有第一可动电极(9)、第二可动电极(10)；所述基板上设置有用于与第一可动电极(9)、第二可动电极(10)分别组成Y轴检测电容、X轴检测电容的第一固定电极(2)、第二固定电极(3)。
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