[发明专利]一种电子束熔炼多晶硅粉体横向拉锭的装置及方法有效
| 申请号： | 201410817588.X | 申请日： | 2014-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN104528729A | 公开（公告）日： | 2015-04-22 |
| 发明（设计）人： | 姜大川;石爽;王登科;谭毅 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 李娜;李馨 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子束熔炼多晶硅粉体横向拉锭的装置及利用该装置进行多晶硅熔炼的方法，属于电子束熔炼领域。该装置同时具备连续加粉料装置和横向拉锭装置，可以进行连续加料，并克服垂直拉锭机构问题，具有定向凝固的效果，其减少了设备的建造高度，方便人员操作、维护及维修等。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子束 熔炼 多晶 硅粉体 横向 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种电子束熔炼多晶硅粉体横向拉锭的装置，包括熔炼室、两个电子枪及其真空系统、熔炼室真空系统和进料系统、横向拉锭系统，其特征在于：所述进料系统包括加料仓(17)和位于其下的入料仓(18)，所述加料仓(11)和入料仓(18)间通过蝶阀(3)隔离；入料仓(18)底部设有通入熔炼室的入料口(19)，入料口(19)下端连接螺旋加料器(8)；入料口(19)的上方设有料位传感器(10)，所述料位传感器(4)与报警器(5)相连；加料仓(17)的顶端一侧设有加料口(1)；所述螺旋加料器(8)接收来自入料仓(18)的物料；所述螺旋加料器(8)的散料口(20)位于水冷斜面(9)的正上方；水冷斜面(8)接收来自散料(20)的物料，并使物料流至位于其下方的硅熔池(10)中；所述硅熔池(10)一侧的侧壁连接横向拉锭系统。
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