[发明专利]一种多波段太赫兹滤波器及其制作方法在审
| 申请号： | 201410788226.2 | 申请日： | 2014-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN104505561A | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 董凤良;徐丽华;宋志伟;闫兰琴;亓丽梅;褚卫国 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | H01P1/20 | 分类号： | H01P1/20;H01P11/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 巩克栋,杨晞 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种多波段太赫兹滤波器，所述太赫兹滤波器包括由下至上依次设置的衬底和金属膜层；所述金属膜层上刻蚀有周期性结构，所述周期性结构为n个同心圆环，n为太赫兹滤波器的波段数；所述n个同心圆环宽度由圆心至外依次增大。本发明还公开了所述多波段太赫兹滤波器的制作方法。本发明提供的多波段太赫兹滤波器增加了通带数，具有良好的中间通带的带外抑制性能，偏振不敏感和宽接收角；实现了滤波器的滤波频段和波段数可控；制作方法简单易操作，其分步工艺均为半导体领域的常规操作，易于大规模和集成化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波段 赫兹 滤波器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种多波段太赫兹滤波器，其特征在于，所述太赫兹滤波器包括由下至上依次设置的衬底和金属膜层；所述金属膜层上刻蚀有周期性结构，所述周期性结构为n个同心圆环，n为太赫兹滤波器的波段数；所述n个同心圆环宽度由圆心至外依次增大。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于国家纳米科学中心，未经国家纳米科学中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410788226.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
