[发明专利]极坐标式无接触水平镜面倾角测量系统及测量方法

摘要

一种极坐标式无接触水平镜面倾角测量系统及测量方法，所述测量系统由立柱、止推轴承、旋转臂、调整装置、负载平台、光学测量系统、伺服电机、圆弧导轨、气浮导轨和直线电机组成，立柱顶端安装有止推轴承，旋转臂一端通过止推轴承固定在立柱上，另一端通过导轨副架在圆弧导轨上，旋转臂由伺服电机驱动绕立柱顶端的止推轴在水平面内旋转，旋转臂上安装有气浮导轨、负载平台和直线电机定子，负载平台由直线电机驱动沿气浮导轨滑动，所述光学测量系统由激光器I、激光器II、分光镜I、分光镜II、CCDI、CCDII、滤光镜与镜头组I、滤光镜与镜头组II、参考反射镜和被测反光镜组成。该测量系统结构紧凑，工作区域覆盖面比较大，可完成动态实时测量。

主权项

极坐标式无接触水平镜面倾角测量系统，其特征在于所述测量系统为极坐标运动形式的框架结构，由立柱、止推轴承、旋转臂、调整装置、负载平台、光学测量系统、伺服电机、圆弧导轨、气浮导轨和直线电机组成，其中：极坐标原点处由立柱支撑，立柱顶端安装有止推轴承，旋转臂一端通过止推轴承固定在立柱上，另一端通过导轨副架在圆弧导轨上，旋转臂由伺服电机驱动绕立柱顶端的止推轴在水平面内旋转，旋转臂上安装有气浮导轨、负载平台和直线电机定子，负载平台由直线电机驱动沿气浮导轨滑动，所述光学测量系统由激光器I、激光器II、分光镜I、分光镜II、CCDI、CCDII、滤光镜与镜头组I、滤光镜与镜头组II、参考反射镜和被测反光镜组成，激光器I、激光器II、分光镜I、分光镜II、CCDI和CCDII安装在负载平台上，参考反射镜位于止推轴上方并与止推轴固联，调整装置位于参考反射镜顶部；激光器I射出的光束经分光镜I分为两束，一束测量基准光束经过滤光镜与镜头组I直接进入CCDI，另一束入射到被测镜面上，经被测镜面反射后回到分光镜I，再次被分光镜I反射后经滤光镜与镜头组I直接进入CCDI；激光器II射出的光束经分光镜II分为两束，一束测量基准光束经过滤光镜与镜头组II直接进入CCDII，另一束入射到参考反射镜上。