[发明专利]多模式的干涉共焦显微系统

摘要

本发明提供一种多模式的干涉共焦显微系统，其特征在于，包括：三个光源，分别为红光光源、绿光光源以及蓝光光源；分色合光器，将光源发出的光组合为一束；准直匀光器，将分色合光器发出的光折射为准直均匀的光线；全反射棱镜，使光线朝预定的方向射出；空间光调制器，对光线进行特定的照明光场调制；控制器，分别控制各个光源和空间光调制器；分光棱镜，使光线朝垂直的方向射出；物镜，将光线照射在被测物表面并收集被测物表面的反射光；筒镜，通过折射使光汇聚于筒镜的焦点；成像探测器，将筒镜汇聚的光形成被测物的表面图像；以及移相器，与物镜相连，用于移动物镜的位置，其中，物镜是Mirau干涉物镜和明场显微物镜中的任意一种。

主权项

一种多模式的干涉共焦显微系统，其特征在于，包括：三个光源，分别为红光光源、绿光光源以及蓝光光源；分色合光器，将所述光源发出的光组合为一束，由相互交叉设置的一个透红光反绿光的反光镜和一个透红光反蓝光的反光镜构成；准直匀光器，将所述分色合光器发出的光折射为准直均匀的光线；全反射棱镜，通过折射和反射使所述光线朝预定的方向射出；空间光调制器，接收所述全反射棱镜发出的光线并对所述光线进行特定的照明光场调制，经过照明光场调制的光线穿过所述全反射棱镜后射出；控制器，分别控制各个所述光源的开启，并控制所述空间光调制器选择所述特定的照明光场调制；分光棱镜，接收穿过所述全反射棱镜后射出的光线，使所述光线朝垂直的方向射出；物镜，接收从所述分光棱镜射出的光线并将该光线照射在被测物表面，收集所述被测物表面的反射光，使所述反射光反向射出，穿过所述分光棱镜；筒镜，接收穿过所述分光棱镜的光，并通过折射使所述光汇聚于所述筒镜的焦点；成像探测器，位于所述筒镜的所述焦点处，将所述筒镜汇聚的光形成所述被测物的表面图像；以及移相器，与所述物镜相连，用于移动所述物镜的位置，其中，所述物镜是Mirau干涉物镜和明场显微物镜中的任意一种，在使用单色光工作模式时，所述控制器控制所述红光光源、所述绿光光源以及所述蓝光光源中任一一个所述光源发光，其他两个所述光源不发光，同时所述控制器将所述空间光调制器设置为全开状态作为反射镜，所述物镜是Mirau干涉物镜；在使用白光扫描干涉工作模式时，所述控制器控制三个所述光源同时发光，经过所述分色合光器后输出白光，同时将所述空间光调制器设置为全开状态作为反射镜，所述物镜是Mirau干涉物镜；在使用单色光共焦测量工作模式时，所述控制器控制所述红光光源、所述绿光光源以及所述蓝光光源中任意一个所述光源发光，其他两个所述光源不发光，同时控制所述空间光调制器的像素状态为黑白间隔的方波和正弦条纹中的任意一种，使得射入所述空间光调制器的光线被调制成结构光，所述物镜是明场显微物镜。