[发明专利]一种石墨制品提纯的方法

摘要

本发明涉及一种石墨制品提纯的方法。将石墨制品置于保温系统再放入感应炉，抽真空1~10h；温度迅速升到1000~1400℃，升温速率5~8℃/min，保温2~4h；充入氟利昂，压力达5~50mbar，升温100~200℃，保温2h，继续抽真空；重复充入氟利昂，直到温度达到1800~2300℃后充入氩气，压力达到100~800mbar，此状态保持2~10h；待温度小于50℃取出。采用本方法能够有效的去除石墨制品中的杂质，能使石墨制品中的B含量降至1ppm以下，从而满足使用要求。在对石墨纯度要求很高的半导体及晶体生长领域有很大的应用潜力。本方法具有工艺简单、生产成本低、生产周期短和产品纯度高等特点。

主权项

一种石墨制品提纯的方法，其特征在于，包括如下步骤：（一）.将欲提纯的石墨制品置于保温系统中；（二）.将装有石墨制品的保温系统放入感应加热炉中，抽真空1~10小时，真空度达到小于10^‑5mbar；（三）.在真空状态下，将温度迅速升到1000~1400℃，升温速率为5~8℃/min，并保温2~4小时；（四）.以0.1~1L/min的流量充入氟利昂，压力达到5~50mbar，升温100~200℃，达到温度后保温2小时，继续抽真空，真空度达到10^‑4mbar；（五）.重复步骤（四），直到温度达到1800~2300℃，充入氩气，流量1L/min，压力达到100~800mbar，此状态保持2~10小时；（六）.保温时间结束后，待温度小于50℃取出待用。