[发明专利]带有细丝夹持组件的化学气相沉积反应器

摘要

本发明公开了带有细丝夹持组件的化学气相沉积反应器。在西门子型反应器的反应仓室中，通过化学气相沉积形成多晶硅晶体棒。细丝夹持组件将竖直延伸的细丝紧固到沿着所述反应器的底面放置的电极上。细丝夹持组件包括安装在电极上并具有向上逐渐变细的侧表面的卡盘支撑元件。将卡盘安置在所述卡盘支撑元件上，使所述卡盘支撑元件的至少一部分被接纳在所述卡盘的底部中限定的腔内，并使所述卡盘支撑元件的侧表面与限定了所述腔的表面啮合。所述腔的尺寸和形状被制造成在所述卡盘支撑元件的远端与所述腔的末端壁表面之间限定有间隙。所述卡盘具有向上开口的插孔，其接纳并夹持向上延伸的细丝的末端部分。

主权项

一种细丝夹持组件，其用于在通过化学气相沉积生产多晶硅晶体棒的反应器中将竖直延伸的细丝紧固到电极上，所述组件包含：导电的卡盘支撑元件，其具有近端、远端、位于所述近端处并被构造成与化学气相沉积反应器中的电极啮合的表面、以及在所述近端和远端之间延伸的面朝外的中间表面，其中所述中间表面的至少一部分从所述近端向所述远端逐渐变细；和导电的卡盘，其具有近端；远端；位于所述远端处并限定了被构造用于接纳细丝的末端部分的插孔的远端表面，所述远端表面包括被放置以支撑所述插孔中的细丝的细丝啮合表面部分；位于所述近端处并限定了腔的近端表面；以及面朝内、朝向所述近端成喇叭状、并且与所述卡盘支撑元件的中间表面的逐渐变细部分的至少一部分总体相符的侧壁表面；其中所述卡盘支撑元件的远端被接纳在所述腔内，使所述中间表面的逐渐变细部分与所述侧壁表面啮合，并且其中所述腔具有足够的深度，使得在所述卡盘支撑元件的远端与所述卡盘之间限定了间隔。