[发明专利]一种纳米呼吸传感器及其制备方法

摘要

一种纳米呼吸传感器及其制备方法，属传感器技术领域。本发明包括敏感单元和恒压传感电路，敏感单元微电极对的一端接入恒压电源，另一端接入放大器，电流放大后经模拟/数字转换器接入单片机，信号经处理后可由存储器进行存储，并由液晶显示器显示。当呼吸气流通过氧化锌纳米线时，氧化锌的电导发生变化，可用于监测不同呼吸频率和强度的纳米呼吸传感器，并对异常呼吸进行声光报警。本发明具有如下的有益效果器件结构简单，制备成本低，可批量生产；工作电压低、功耗小、安全可靠；响应速度快、灵敏度高、抗干扰能力强.与人体完全非接触，使用舒适度高。

主权项

一种纳米呼吸传感器，其包括敏感单元（1）、恒压电源（2）、放大器（3）、模拟/数字转换器（4）、单片机（5）、液晶显示器（6）、存储器（7）和报警装置（8）；敏感单元（1）的一端接入恒压电源（2），另一端接入放大器（3），电流放大后经模拟/数字转换器（4）接入单片机（5），信号经处理后可由存储器（7）进行存储，并由液晶显示器（6）进行显示，并可通过报警装置（8）对异常信号进行报警；其中敏感单元（1）包括衬底（9）、分布在衬底上的微电极对（10）和定向搭接在微电极对间的敏感元件氧化锌纳米线（11），敏感元件与微电极对之间发生原子互扩散，形成牢固可靠的低电阻接触。