[发明专利]薄膜固体电解质电流型SO2气体传感器及制备方法

摘要

本发明公开了一种基于薄膜固体电解质的微型电流型SO₂气体传感器及其制备工艺，其特征在于，在Al₂O₃陶瓷基底上通过丝网印刷的方法制作RuO₂加热及测温元件，在Al₂O₃陶瓷基底的另一面通过微机电加工工艺沉积Li₃PO₄固体电解质层、Au或Pt金属电极，并在电解质层和电极的上方印刷反应电极Li₂SO₄/V₂O₅和参比电极Li₂TiO₃/TiO₂，并在反应电极上方制备扩散阻碍层，最终形成固体电解质SO₂气敏元件。制成的芯片通过金胶烧结固定在Al₂O₃陶瓷基座上，基片上溅射有Au以便于引线。所述传感器共有两个输入信号和两个输出信号，Al₂O₃陶瓷基座的输入信号用于为加热器供电，输出信号用于温度信号的反馈，气敏元件的输入信号为恒压信号，输出电流信号与环境SO₂的浓度相关。

主权项

一种薄膜固体电解质电流型SO₂气体传感器，包括Al₂O₃基座，其上表面设有用于引线的Au薄膜，其特征在于，还包括Al₂O₃基底，该Al₂O₃基底的反面设有RuO₂厚膜与Al₂O₃基座上的Au薄膜连接，RuO₂厚膜作为温控元件包括加热、测温两个独立部分；所述Al₂O₃基底正面覆盖有固体电解质薄膜，其上设置若干Au电极薄膜，其中两个Au电极薄膜上分别制作Li₂SO₄/V₂O₅反应电极、Li₂TiO₃/TiO₂参比电极，其余的Au电极薄膜作为辅助电极；Li₂SO₄/V₂O₅反应电极上覆盖扩散阻碍层。