[发明专利]一种快速揭示碲锌镉晶体各类缺陷的方法

摘要

本发明公开了一种快速揭示碲锌镉晶体各类缺陷的方法，该方法先使用体积分数为3％-5％的溴甲醇溶液，对单晶材料(111)B面进行30-60分钟的化学减薄，去除材料加工损伤层，获得表面光亮平整的样品。再使用Everson腐蚀液揭示晶体的缺陷，用肉眼或者普通光学显微镜便可清晰观察材料的各类缺陷。本发明的优点是：(1)快速便捷，在1小时内可以完成样品缺陷的揭示及观察。(2)适用范围广，可用于片状、块状、不规则等各种类型样品。(3)成本较低，不需要专用设备。(4)使用化学试剂减薄腐蚀，不会再次引入机械加工损伤。

主权项

一种快速揭示碲锌镉晶体各类缺陷的方法，其特征在于包括如下步骤：(1)选择样品：碲锌镉晶体取沿(111)面加工得到待测的碲锌镉样品；(2)清洗样品：使用无水乙醇及丙酮分别对样品进行清洗，样品晾干待用；(3)配制化学减薄液：按液溴：甲醇体积比在3:97到5:95之间配制溴甲醇溶液，此时液溴体积分数在3％到5％之间，搅拌均匀待用；(4)化学减薄：将样品(111)B面朝上全部浸入化学减薄液中，减薄时间控制在30‑60分钟之间；(5)清洗样品：从化学减薄液中取出样品，使用无水乙醇以及去离子水对样品进行清洗，用氮气枪吹干待用；(6)配制Everson腐蚀液：按乳酸：硝酸：氢氟酸体积比100:20:5配制Everson腐蚀液，搅拌均匀待用；(7)Everson腐蚀：将样品(111)B面朝上浸入腐蚀液中，腐蚀2.5min，再用去离子水对样品进行清洗，用氮气枪吹干；(8)观察缺陷：样品在可见光下肉眼可以清晰地观察到多晶、位错带、孪晶线等缺陷，在光学显微镜下，因晶体沉淀物而产生的特殊腐蚀坑形貌也可以被清晰分辨。