[发明专利]一种热解碳涂层的制备方法

摘要

本发明提出了一种热解碳涂层的制备方法，其包括如下步骤：(1)提供一种具有炉体的化学气相沉积炉，炉体内贯穿设置有刚玉管，刚玉管的进气端端面上设有圆孔供钨棒插入，钨棒的另一端连接石墨柱，石墨柱朝向刚玉管的出气端用于粘贴石墨基体；(2)将石墨基体浸没在先驱体溶液中，先驱体溶液为SR249和xylene按体积比为(0.3～1.0):1配置而成；(3)将石墨基体浸渍24h后取出后悬空设置于刚玉管的中间部分；(4)向刚玉管中通入氩气，并将炉体升温至1100～1250℃；(5)继续通入氩气，并通入甲烷，设置甲烷和氩气的质量比为(800～1000)：(275～350)；(6)关闭甲烷，继续保持通入氩气，使得石墨基体随炉冷却，从而在石墨基体上得到热解碳涂层。

主权项

1.一种热解碳涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)提供一种具有炉体的化学气相沉积炉，炉体内贯穿设置有刚玉管，刚玉管的进气端端面上设有圆孔供钨棒插入，钨棒的另一端连接石墨柱，石墨柱朝向刚玉管的出气端用于粘贴石墨基体；(2)将石墨基体浸没在先驱体溶液中，其中先驱体溶液为SR249和xylene按照体积比为(0.3～1.0):1配置而成；(3)将石墨基体浸渍24h后取出，将其悬空设置于刚玉管的中间部分；(4)向刚玉管中通入氩气，通入氩气之前先用气体流量计对氩气管路中的气体进行清洗，清洗时间为8～15min；在清洗氩气管路之后利用气体流量计控制氩气的流速为160～190ml/min；并将炉体升温速度为9～10℃/min，升温至1100～1250℃；(5)继续通入氩气，并通入甲烷50‑150min，设置甲烷和氩气的质量比为(800～1000)：(275～350)；(6)关闭甲烷，继续保持通入氩气，氩气的流速为160～190ml/min使得石墨基体随炉冷却至室温，从而在石墨基体上得到热解碳涂层。