[发明专利]一种纳米结构几何参数大面积在线测量装置及其测量方法

摘要

本发明公开了一种纳米结构几何参数大面积在线测量装置及其测量方法，可获得包含整个视场的大面积区域内纳米结构的三维显微形貌。由光源发出的光经过单色仪变为单色光，先后经过准直镜、起偏器和起偏臂端相位补偿器得到椭圆偏振光束后投射至待测纳米结构表面；采集待测纳米结构反射光束中零级衍射光对应的光强信号，计算待测纳米结构的测量成像穆勒矩阵；匹配提取得到对应像素点处待测纳米结构的几何参数值，所有像素点处的几何参数提取值构成待测纳米结构三维显微形貌。本发明能为基于图形转移的批量制造方法如光刻和纳米压印等工艺中所涉及的一维和二维亚波长周期性纳米结构，提供一种大面积、快速、低成本、无接触、非破坏性、精确测量手段。

主权项

一种纳米结构几何参数大面积在线测量装置，其特征在于，该装置在穆勒矩阵椭偏仪的检偏光路中增设有成像透镜，且将检偏光路中的线阵探测器替换为面阵探测器，以收集整个视场区域内待测纳米结构的成像穆勒矩阵信息，通过对成像穆勒矩阵上各个像素点进行独立的椭偏测试，准确实时地重构出包含整个视场的大面积区域内待测纳米结构的三维显微形貌。