[发明专利]一种减小超声波清洗器的维护系统及维护方法

摘要

本发明公开了一种减小超声波清洗器的维护系统及维护方法，包含机台，其包含石英管；微波系统，其一端活动套置在石英管上。机台还包含依次相连的气体管线和双喷嘴；其中石英管水平设置，并与气体管线的输入端相连；气体从石英管进入，并经由气体管线输送至双喷嘴。本发明将微波系统与机台之间的连接设为活动，在制程过程中改变敷料器的位置，使得石英管在制程过程中均匀消耗，减少超声波清洗器的维护次数，从而增加石英管的使用时间。

主权项

一种减小超声波清洗器维护的系统，其特征在于，包含：机台（1），其包含石英管（11）；微波系统（2），其一端活动套置在石英管（11）上；所述的微波系统（2）包含自动调频器（21）、以及依次相连的定向混频器（22）、虚拟载荷绝缘器（23）和微波振荡器（24）；所述的自动调频器（21）一端与定向混频器（22）相连，其另一端活动套置在石英管（11）上。