[发明专利]利用光纤激光器的激光尖峰退火

摘要

本发明涉及一种利用光纤激光器的激光尖峰退火。通过对晶片表面执行激光尖峰退火的该方法包括：利用多个光纤激光器系统来产生相应的连续波输出辐射束以形成具有长轴和沿长轴的长度L_A的长型退火图像，其中连续波输出辐射束在晶片表面部分地重叠；加热晶片表面的至少一个区域至预退火温度T_PA；以及在晶片表面及预热区域内扫描长型退火图像，使得长型退火图像的停留时间t_D介于30纳秒至10毫秒之间并且使晶片表面的温度升至退火温度T_A。

主权项

一种对晶片表面执行激光尖峰退火的方法，包括：利用多个光纤激光器系统产生相应的连续波CW输出辐射束，所述连续波CW输出辐射束部分地重叠于所述晶片表面以形成具有长轴及沿所述长轴的长度L_A的长型退火图像；加热所述晶片的至少一个区域至预退火温度T_PA从而界定预热区域；以及在所述晶片表面及至少部分地在所述预热区域内在基本垂直所述长轴的方向上扫描所述长型退火图像，使得所述长型退火图像的停留时间t_D在30纳秒≤t_D≤10毫秒的范围之内并且将所述晶片表面的温度升至退火温度T_A。