[发明专利]无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及加速度传感器，具体是一种无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器及其制造方法。本发明解决了现有压阻式高量程加速度传感器适用范围受限的问题。无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器，包括衬底、封闭空腔、第一悬臂梁、第二悬臂梁、第三悬臂梁、第四悬臂梁、质量块、平面螺旋电感、第一压敏电阻、第二压敏电阻、第一电容、第二电容、第一线孔、第二线孔、第三线孔、第四线孔、第一电连线、第二电连线、第三电连线、第四电连线、第五电连线。本发明适用于加速度测量。

主权项

一种无引线的压阻式MEMS高量程加速度传感器，其特征在于：包括衬底（1）、封闭空腔（2）、第一悬臂梁（3）、第二悬臂梁（4）、第三悬臂梁（5）、第四悬臂梁（6）、质量块（7）、平面螺旋电感（8）、第一压敏电阻（9）、第二压敏电阻（10）、第一电容、第二电容、第一线孔、第二线孔、第三线孔、第四线孔、第一电连线（11）、第二电连线（12）、第三电连线（13）、第四电连线（14）、第五电连线（15）；其中，衬底（1）由上层衬底、中层衬底、下层衬底键合形成；封闭空腔（2）设于衬底（1）的内部；第一悬臂梁（3）的左端面与封闭空腔（2）的左内腔壁固定；第二悬臂梁（4）的右端面与封闭空腔（2）的右内腔壁固定；第三悬臂梁（5）的前端面与封闭空腔（2）的前内腔壁固定；第四悬臂梁（6）的后端面与封闭空腔（2）的后内腔壁固定；质量块（7）的左表面与第一悬臂梁（3）的右端面固定；质量块（7）的右表面与第二悬臂梁（4）的左端面固定；质量块（7）的前表面与第三悬臂梁（5）的后端面固定；质量块（7）的后表面与第四悬臂梁（6）的前端面固定；平面螺旋电感（8）位于封闭空腔（2）的下外腔壁；第一压敏电阻（9）位于第一悬臂梁（3）的上表面；第二压敏电阻（10）位于第二悬臂梁（4）的上表面；第一电容的上极板（16）位于封闭空腔（2）的上内腔壁的左后部；第一电容的下极板（17）位于封闭空腔（2）的下内腔壁的左后部；第二电容的上极板（18）位于封闭空腔（2）的上内腔壁的右后部；第二电容的下极板（19）位于封闭空腔（2）的下内腔壁的右后部；第一线孔的两端分别贯通封闭空腔（2）的上内腔壁的左后部和左内腔壁；第二线孔的两端分别贯通封闭空腔（2）的下内腔壁的左后部和下外腔壁的左后部；第三线孔的两端分别贯通封闭空腔（2）的上内腔壁的右后部和右内腔壁；第四线孔的两端分别贯通封闭空腔（2）的下内腔壁的右后部和下外腔壁的右后部；第一电连线（11）的一段溅射于第一线孔内，另一段淀积于第一悬臂梁（3）的上表面；第一电连线（11）的两端分别与第一电容的上极板（16）和第一压敏电阻（9）连接；第二电连线（12）溅射于第二线孔内；第二电连线（12）的两端分别与第一电容的下极板（17）和平面螺旋电感（8）的一端连接；第三电连线（13）的一段溅射于第三线孔内，另一段淀积于第二悬臂梁（4）的上表面；第三电连线（13）的两端分别与第二电容的上极板（18）和第二压敏电阻（10）连接；第四电连线（14）溅射于第四线孔内；第四电连线（14）的两端分别与第二电容的下极板（19）和平面螺旋电感（8）的另一端连接；第五电连线（15）同时淀积于第一悬臂梁（3）的上表面、第二悬臂梁（4）的上表面、质量块（7）的上表面；第五电连线（15）的两端分别与第一压敏电阻（9）和第二压敏电阻（10）连接。