[发明专利]磨削机床及在该机床上加工非球面单晶硅透镜的方法

摘要

磨削机床及在该机床上加工非球面单晶硅透镜的方法，它涉及一种磨削机床及单晶硅透镜精密磨削加工的方法。本发明为了解决现有的传统非球面透镜磨削加工面形精度低，表面损伤严重，后续抛光量较大，严重降低非球面透镜成形加工效率的问题。装置：真空吸盘安装在工作主轴上，单晶硅工件通过转接夹具安装在真空吸盘上，磨削主轴装在Z轴联动工作台上，圆弧形金刚石砂轮安装在磨削主轴的下端部，圆弧形金刚石砂轮的外圆弧与单晶硅工件表面相接触。方法：单晶硅工件和圆弧型金刚石砂轮的安装；单晶硅工件的外圆面磨削加工；单晶硅基准端面的磨削加工；单晶硅工件的非球凹面磨削加工；单晶硅工件的非球凸面磨削加工。本发明用于非球面单晶硅透镜的加工。

主权项

一种磨削机床，它包括X轴联动工作台(1)、工作主轴(2)、Y轴联动工作台(3)和Z轴联动工作台(9)，Y轴联动工作台(3)安装在X轴联动工作台(1)上，工作主轴(2)穿设在Y轴联动工作台(3)上，Z轴联动工作台(9)设置在X轴联动工作台(1)的一侧，其特征在于：所述磨削机床还包括真空吸盘(4)、转接夹具(5)、磨削主轴(6)和圆弧形金刚石砂轮(7)，真空吸盘(4)安装在工作主轴(2)上，单晶硅工件(8)通过转接夹具(5)安装在真空吸盘(4)上，磨削主轴(6)竖直安装在Z轴联动工作台(9)上，圆弧形金刚石砂轮(7)安装在磨削主轴(6)的下端部，圆弧形金刚石砂轮(7)的外圆弧与单晶硅工件(8)表面相接触，所述转接夹具(5)包括圆柱连接端(5‑1)和圆柱吸附端(5‑2)，圆柱连接端(5‑1)和圆柱吸附端(5‑2)由左至右依次固定连接并制成一体，且圆柱连接端(5‑1)的直径大于圆柱吸附端(5‑2)的直径，圆柱连接端(5‑1)和圆柱吸附端(5‑2)内分别开设两组正反相对设置的阶梯孔(5‑3)。