[发明专利]一种太阳能背钝化高效晶硅电池激光加工设备

摘要

本发明公开了一种太阳能背钝化高效晶硅电池激光加工设备，包括底架，底架上设置有工作平台，工作平台上设置有旋转盘，旋转盘上设置有若干组晶圆放置位，每组放置位上设置有两个放置座，旋转盘的上方设置有晶圆定位机构、用以对晶圆进行背钝化加工的第一工艺机构以及用以把晶圆正负电极隔离开来的第二工艺机构，晶圆定位结构、第一工艺机构和第二工艺机构均通过支架台与工作平台固定，并且均与放置位配合，晶圆定位结构、第一工艺机构和第二工艺机构沿旋转盘的转动方向依次设置，底架内设置有各机构的电气控制装置。本发明中采用了双光路，能同时加工两片背钝化晶圆；本发明一次性地把背钝化膜开窗加工与晶圆正负电极隔离加工同时完成。

主权项

一种太阳能背钝化高效晶硅电池激光加工设备，其特征在于：包括底架，所述底架上设置有工作平台，所述工作平台上设置有旋转盘，所述旋转盘上设置有若干组晶圆放置位，每组放置位上设置有两个放置座，所述旋转盘的上方设置有晶圆定位机构以及用以对晶圆进行背钝化膜开窗加工的第一工艺机构，所述晶圆定位结构和第一工艺机构均通过支架台与工作平台固定，并且均与放置位配合，所述晶圆定位结构和第一工艺机构沿旋转盘的转动方向依次设置，所述底架内设置有各机构的电气控制装置；所述第一工艺机构包括第一激光器、第一分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、第五反射镜、第六反射镜、第十一反射镜、第一衰减器、第二衰减器、第一扩束器、第二扩束器、第一扫描振镜头和第二扫描振镜头，所述第一激光器发出激光，通过第一分光镜将激光分成两束，其中一束依次经过第十一反射镜、第一反射镜、第二反射镜、第一衰减器、第一扩束器和第三反射镜穿入第一扫描振镜头，另一束次经过第四反射镜、第五反射镜、第二衰减器、第二扩束器和第六反射镜穿入第二扫描振镜头，所述第一扫描振镜头和第二扫描振镜头分别与放置位的两个放置座配合； 所述晶圆定位结构包括若干用以抓拍晶圆在放置座上位置信息的相机。