[发明专利]一种扫描式金属表面成像及成分分析装置有效
| 申请号： | 201410684890.2 | 申请日： | 2014-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN104483337A | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 单卿;张新磊;贾文宝 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 齐棠;曹翠珍 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描式金属表面成像及成分分析装置，包括X光管（1）、X荧光探头（2）、准直器（3）、位置灵敏型光电倍增管（4）、探测器封装套（5）、高压控制系统（6）、放大器（7）、信号读出系统（8）、数据处理系统（9）、计算机控制与数据显示系统（10）、步进电机控制系统（11）、远程登陆系统（12）、激光测距仪（13）、步进电机（14）、样品台（15）、屏蔽防护体（16）；其利用X光管产生的X射线，与金属表面的核素内壳层电子发生反应产生特征X射线，利用传感器，收集特征X射线的空间和能量信息，对金属表面进行成分分析与成像。本发明不受金属镀层种类影响，可同时实现金属表面成像与元素成分分析。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 金属表面 成像 成分 分析 装置 | ||
【主权项】：
一种扫描式金属表面成像及成分分析装置，其特征在于，包括X光管（1）、X荧光探头（2）、准直器（3）、位置灵敏型光电倍增管（4）、探测器封装套（5）、高压控制系统（6）、放大器（7）、信号读出系统（8）、数据处理系统（9）、计算机控制与数据显示系统（10）、步进电机控制系统（11）、远程登陆系统（12）、激光测距仪（13）、步进电机（14）、样品台（15）、屏蔽防护体（16）；X光管（1）、X荧光探头（2）、准直器（3）、位置灵敏型光电倍增管（4）、探测器封装套（5）、激光测距仪（13）均设置在屏蔽防护体（16）内且位于样品台（15）上方，激光测距仪（13）、X光管（1）、准直器（3）下表面的中心位于同一平面，且三者中心轴相交于样品表面；X荧光探头（2）、位置灵敏型光电倍增管（4）设在准直器（3）和探测器封装套（5）构成的密闭空间内，准直器（3）、X荧光探头（2）、位置灵敏型光电倍增管（4）依次连接；位置灵敏型光电倍增管（4）依次连接放大器（7）、信号读出系统（8）、数据处理系统（9）、计算机控制与数据显示系统（10）；激光测距仪（13）连接数据处理系统（9）；X光管（1）依次连接高压控制系统（6）、计算机控制与数据显示系统（10）；步进电机（14）设置在屏蔽防护体（16）内且连接在样品台（15）下方，步进电机（14）依次连接步进电机控制系统（11）、计算机控制与数据显示系统（10）；计算机控制与数据显示系统（10）与远程登陆系统（12）通过电话线或者网线连接。
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