[发明专利]一种无电沉积制备掺铝氧化锌薄膜的方法

摘要

一种无电沉积掺铝氧化锌薄膜的制备方法，该方法将无导电性的柔性衬底分别浸入敏化溶液和活性溶液中使无导电性的柔性衬底表面活化，然后用活化后的无导电性的柔性衬底浸入含有Zn(NO3)2、Al(NO3)3以及二甲氨基硼烷的生长溶液中以使得掺铝氧化锌薄膜在衬底上沉积。本发明工艺简洁，设备简单，无需高温和高压环境，适用于大规模工业生产，可广泛应用于光电领域。

主权项

一种无电沉积制备掺铝氧化锌薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将无导电性的柔性衬底置于丙酮溶液里进行超声清洗10‑20min，然后用去离子水冲洗干净，烘干，得到干净柔性衬底；(2)在室温下，将干净柔性衬底浸入敏化溶液中30‑60min进行敏化处理，得到敏化柔性衬底；所述的敏化溶液由SnCl2和HCl溶液配制而成，在敏化溶液中SnCl2的浓度为20～60g/l，HCl的浓度为0.12～0.36mol/l，所述的敏化处理是使无导电性的柔性衬底表面吸附敏化粒子Sn2+；(3)在室温下，将敏化柔性衬底浸入活化溶液中30‑60min进行活化处理，得到活化柔性衬底；所述的活性溶液由PdCl2和HCl溶液配制而成，在活性溶液中PdCl2的浓度为0.05～0.2g/l，HCl的浓度为0.12～0.36mol/l，所述的活化处理是使无导电性的柔性衬底表面吸附活化粒子Pd0；(4)在恒温60‑90℃下，将活化柔性衬底浸入生长溶液中1.5～3h，使得掺铝氧化锌薄膜在衬底上沉积，最后用去离子水清洗，吹干，即得到掺铝氧化锌薄膜；所述的生长溶液由Zn(NO3)2、Al(NO3)3和二甲氨基硼烷溶液配制而成，在生长溶液中Zn(NO3)2的浓度为0.01～0.1mol/l，Al(NO3)3的浓度为0.0005～0.01mol/l，二甲氨基硼烷的浓度为0.01～0.03mol/l。