[发明专利]基于微纳米纤维阵列的流体传感器及其测量方法在审
| 申请号： | 201410681379.7 | 申请日： | 2014-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN104792355A | 公开（公告）日： | 2015-07-22 |
| 发明（设计）人： | 徐志平;大西大;万宇 | 申请（专利权）人： | 清华大学;罗姆株式会社 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;B82Y35/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 | 代理人： | 哈达 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种流体传感器，其包括：一基体；一微纳米纤维阵列，所述微纳米纤维阵列设置于所述基体的表面上，所述微纳米纤维阵列包括多个微纳米纤维，该多个微纳米纤维的延伸方向基本一致并与该基体的表面垂直，所述微纳米纤维阵列的一端固定于所述基体的表面，另一端为自由端；以及一探测装置，所述探测装置用于探测由于所述微纳米纤维阵列自由端的弯曲变形的程度。进一步本发明涉及一种采用上述流体传感器测量流体特性的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 纤维 阵列 流体 传感器 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
一种流体传感器，其包括：一基体；一微纳米纤维阵列，所述微纳米纤维阵列设置于所述基体的表面，所述微纳米纤维阵列包括多个微纳米纤维，该多个微纳米纤维的延伸方向基本一致并与该基体的表面垂直，所述微纳米纤维阵列的一端固定于所述基体的表面，另一端为自由端；以及一探测装置，所述探测装置用于探测由于所述微纳米纤维阵列自由端的弯曲变形的程度。
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