[发明专利]一种叠层透明电极及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201410673595.7 申请日: 2014-11-19
公开(公告)号: CN104505149A 公开(公告)日: 2015-04-08
发明(设计)人: 马剑钢;李鹏;闫兴振;徐海阳;张昕彤;刘益春 申请(专利权)人: 东北师范大学
主分类号: H01B5/14 分类号: H01B5/14;H01B13/00;H01L31/0224;H01L31/18
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 关畅;赵静
地址: 130024 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明提供一种叠层透明电极及其制备。自下而上依次包括:透明衬底、透明衬底上的第一层金属氧化物薄膜、第一层金属氧化物薄膜上的金属纳米线网络层以及覆盖于金属纳米线网络层和未被金属纳米线网络层遮盖的第一层金属氧化物之上的第二层金属氧化物薄膜。金属纳米线网络层的制备包括:在第一层金属氧化物薄膜上制备金属薄膜层;采用静电纺丝在金属薄膜层上制备高聚物纳米纤维网络;以高聚物纳米纤维为掩模,蚀刻去除未被高聚物纳米纤维网络掩盖的金属薄膜;去除高聚物纳米纤维网络。本发明的叠层透明电极具有光透过率高、电阻率低、与衬底接触牢固、表面平整、制备和生长温度低、成本低廉等优点,可广泛应用于各种有机和无机光电器件。
搜索关键词: 一种 透明 电极 及其 制备 方法
【主权项】:
一种叠层透明电极,其自下而上依次包括:透明衬底、位于所述透明衬底上的第一层金属氧化物薄膜、位于所述第一层金属氧化物薄膜上的金属纳米线网络层、以及覆盖于所述金属纳米线网络层和未被所述金属纳米线网络层遮盖的第一层金属氧化物之上的第二层金属氧化物薄膜。
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