[发明专利]透明介质膜层均匀性在线测量方法及其装置

摘要

本发明公开了一种透明介质膜层均匀性在线测量方法及其装置，该测量方法包括：获得各点膜面反射光谱；对各点膜面反射光谱进行光学性能分析；获得膜层折射率及膜层平均厚度；进行均匀性分析后得到膜层厚度均匀性分布结果。本发明还公开了一种在线光谱测量装置，包括支架，所述支架上设有导轨，所述导轨上设有测量探头，所述导轨一侧的支架上设有第一位置传感器，另一侧的支架上设有第二位置传感器，当第一位置传感器和第二位置传感器同时检测到被测镀膜样品时，所述测量探头在被测镀膜样品上方沿导轨步进运动逐点扫描测试，用于测试被测镀膜样品的各点膜面反射光谱。本发明能够同时获得膜层折射率及平均厚度，不受膜层种类影响，具有通用性能。

主权项

1.一种透明介质膜层均匀性在线测量方法，其特征在于，包括：S101：获得各点膜面反射光谱：将镀制透明介质膜层的被测镀膜样品利用在线光谱测量装置测量各点预定波长范围的膜面反射光谱，得到各点膜面反射光谱数据；S102：对各点膜面反射光谱进行光学性能分析：对各点膜面反射光谱进行光学性能分析，计算得到平均膜面反射光谱和各点膜面反射颜色，根据各点膜面反射颜色得到膜面反射颜色范围；S103：获得膜层折射率及膜层平均厚度：根据平均膜面反射光谱建立柯西光学模型，利用遗传算法得到膜层折射率，通过平均膜面反射光谱获得膜层平均厚度；S104：进行均匀性分析：根据膜层折射率和膜层平均厚度获得在50～80nm范围内的厚度与颜色线性关系，得到膜层厚度均匀性分布结果；所述步骤S104包括：S1041：设置膜层厚度范围：以膜层平均厚度为中心设置膜层厚度范围；S1042：设定厚度范围内各厚度：在膜层厚度范围内，每隔0.5‑1.5nm获得每个膜层的厚度；S1043：导纳矩阵光谱计算：将设定厚度范围内各膜层厚度及膜层折射率利用导纳矩阵光谱计算获得设定厚度范围内各厚度对应膜面反射光谱及设定厚度范围内各厚度对应膜面反射颜色；从而可知设定厚度颜色范围，并获得厚度与颜色线性关系；S1044：获得膜层厚度均匀性分布结果：通过实测的膜面反射颜色范围与设定厚度颜色范围比较，若设定厚度颜色范围≥膜面反射颜色范围，将根据各点膜面反射颜色及厚度与颜色线性关系插值运算，获得各点膜面厚度值，并形成膜层厚度均匀性分布结果。