[发明专利]铸锭炉及硅锭的制备方法

摘要

本发明提供了一种铸锭炉及硅锭的制备方法。该铸锭炉包括隔热笼，隔热笼的底部具有窗口；多个百叶，设置于窗口的下方，各百叶的内部具有沿垂直于百叶厚度的方向上贯穿百叶的孔洞；以及挡板，设置于隔热笼中且位于隔热笼的两侧壁的底部。在该铸锭炉的百叶开启时百叶的散热面积得以增加，百叶的散热速率也随之增加，并提高了硅锭生长后期的长晶驱动力。当铸锭炉采用籽晶工艺时，由于在熔化阶段铸锭炉底部的散热速率增大，铸锭炉底部的温度降低，从而使得籽晶容易保留，进而提升了所制备硅锭的品质。同时，由于硅锭生长后期的长晶驱动力得以提高，从而提高了长晶后期长晶速率，并增加了硅液的流动性，进而加强杂质的分凝，进一步提高了出材率。

主权项

一种铸锭炉，其特征在于，所述铸锭炉包括：隔热笼(10)，所述隔热笼(10)的底部具有窗口；多个百叶(20)，设置于所述窗口的下方，各所述百叶(20)的内部具有沿垂直于所述百叶(20)厚度的方向上贯穿所述百叶(20)的孔洞；以及挡板(30)，设置于所述隔热笼(10)中且位于所述隔热笼(10)的两侧壁的底部，所述铸锭炉还包括设置于所述隔热笼(10)中的热交换块(40)，所述挡板(30)位于所述热交换块(40)的下方，且在垂直于所述隔热笼(10)的侧壁的方向上所述挡板(30)的长度小于所述隔热笼(10)的底部的长度，各所述百叶(20)具有与所述百叶(20)厚度的方向相垂直的转动轴，且所述孔洞的延伸方向垂直于所述转动轴。