[发明专利]转接板及其制作方法、封装结构及用于转接板的键合方法有效
| 申请号: | 201410665104.4 | 申请日: | 2014-11-19 |
| 公开(公告)号: | CN104409364B | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
| 发明(设计)人: | 王谦;魏体伟;王璐;蔡坚;刘子玉 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
| 主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/48;H01L21/60 |
| 代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙)11447 | 代理人: | 南毅宁,桑传标 |
| 地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种转接板及其制作方法、封装结构及用于转接板的键合方法。该转接板包括板体,具有相对的第一表面和第二表面,并在第一表面与第二表面之间形成有贯穿该板体的锥台形通孔;锥形导电体,填充在所述锥台形通孔中,该锥形导电体具有平面端和尖端,该平面端与第一表面齐平,该尖端从所述第二表面突出;以及布线结构,布置在所述板体的所述第一表面上,并与所述锥形导电体的所述平面端电连接。本发明通过将转接板上突出的尖端直接插入焊料球,可以方便地实现与介质板的键合。这样,避免了在转接板上进行UBM的制作工艺,有效节省了时间和成本。并且,还可以增加导电体与焊料球的接触面积,从而使得键合强度更大,键合的可靠性更强。 | ||
| 搜索关键词: | 转接 及其 制作方法 封装 结构 用于 方法 | ||
【主权项】:
一种转接板,其特征在于,该转接板包括:板体,具有相对的第一表面和第二表面,并在所述第一表面与所述第二表面之间形成有贯穿该板体的锥台形通孔;锥形导电体,填充在所述锥台形通孔中,所述锥形导电体是从所述第一表面侧对所述板体打锥形盲孔,并在所述锥形盲孔中填充导电体而形成的,该锥形导电体具有平面端和尖端,该平面端与所述第一表面齐平,该尖端从所述第二表面突出,所述锥台形通孔是从所述锥形导电体的尖端侧将所述板体减薄形成的,所述尖端用于插入到用于与介质板电连接的焊料球中;以及布线结构,布置在所述板体的所述第一表面上,并与所述锥形导电体的所述平面端电连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





