[发明专利]具有石墨烯结构的电容器、包括其的半导体器件及其形成方法在审
| 申请号： | 201410657766.7 | 申请日： | 2014-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN105679839A | 公开（公告）日： | 2016-06-15 |
| 发明（设计）人： | 周淳朴;柯志欣;邱博文;郑兆钦;吕俊颉;黄崎峰;陈焕能;薛福隆 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/92 | 分类号： | H01L29/92;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了具有石墨烯结构的电容器、包括其的半导体器件及其形成方法。电容器包括具有多个第一石墨烯层的第一石墨烯结构。电容器还包括位于第一石墨烯结构上方的介电层。电容器还包括位于介电层上方的第二石墨烯结构，其中，第二石墨烯结构具有多个第二石墨烯层。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 石墨 结构 电容器 包括 半导体器件 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种电容器，包括：第一石墨烯结构，具有多个第一石墨烯层；介电层，位于所述第一石墨烯结构上方；以及第二石墨烯结构，位于所述介电层上方，其中，所述第二石墨烯结构具有多个第二石墨烯层。
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