[发明专利]用于控制微机械执行器的调节器、控制系统和方法以及微镜系统有效
| 申请号： | 201410654331.7 | 申请日： | 2014-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN104678760B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | M·L·A·迪布斯 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G05B11/42 | 分类号： | G05B11/42;G05D19/02 |
| 代理公司： | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于控制微机械执行器的调节器，调节器具有：第一信号输入端，用于接收参考信号；第二信号输入端，用于接收测量信号；第一调节器元件，用于在接收的参考信号中滤波和/或衰减预给定的频率模态和/或频率分量并输出经滤波的和/或衰减的参考信号；第二调节器元件，用于修改接收的测量信号并输出修改的测量信号；第三调节器元件，用于将经滤波的和/或衰减的参考信号和接收的测量信号之间的调节偏差最小化并输出经最小化的参考信号；第四调节器元件，用于对于至少一个预给定的频率旋转经最小化的参考信号和修改的测量信号的差的相位并将其作为控制信号向微机械执行器传输。本发明还公开相应控制系统、相应微镜系统和相应方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 控制 微机 执行 调节器 控制系统 方法 以及 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于控制微机械执行器(2)的调节器(1)，所述调节器：/n具有第一信号输入端(3)，所述第一信号输入端构造用于接收参考信号(4)；/n具有第二信号输入端(5)，所述第二信号输入端构造用于接收测量信号(6)，所述测量信号表征所记录的、所述微机械执行器(2)对控制信号(7)的响应；/n具有第一调节器元件(8)，所述第一调节器元件构造用于在所接收的参考信号(4)中滤波和/或衰减预给定的频率模态和/或预给定的频率分量并且输出经滤波的和/或经衰减的参考信号(12)；/n具有第二调节器元件(9)，所述第二调节器元件构造用于修改所接收的测量信号(6)并且输出所修改的测量信号，所述修改的方式是，所述第二调节器元件通过在闭合调节回路中处理所接收的测量信号(6)使所述微机械执行器(2)的第一模态的和/或其他模态的品质最小化；/n具有第三调节器元件(10)，所述第三调节器元件构造用于将经滤波的和/或经衰减的参考信号(12)和所接收的测量信号(6)之间的调节偏差最小化并且输出经最小化的参考信号(14)；/n具有第四调节器元件(11)，所述第四调节器元件构造用于对于至少一个预给定的频率旋转所述经最小化的参考信号(14)和所修改的测量信号(13)的差的相位并且将其作为所述控制信号(7)向所述微机械执行器(2)传输。/n
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