[发明专利]一种光驱动微流体泵

摘要

本发明涉及一种光驱动微流体泵，在光能和机械能之间转换，由下往上依次包括出入口层、泵腔层、微线栅阵列驱动单元和基片；出入口层设有入口和出口；泵腔层包括泵腔和可形变的振膜；微线栅阵列驱动单元包括周期为百纳米级的微线栅阵列，微线栅阵列由栅脊和栅谷构成且为形状记忆材料偶氮苯液晶弹性体。本发明周期性的改变照射光种类和光强，可精确控制微流体泵泵腔容积周期性的变化，从而产生连续的差量流动。具有响应速度快、工作频率高、能耗小、驱动量大等优点；可精确控制流量，能够应用在细胞分离、流体微量配给、药物微量注射、微量化学分析等领域；器件制造可采用MEMS加工工艺，与IC制造工艺兼容，适合批量生产。

主权项

一种光驱动微流体泵，其特征在于：由下往上依次包括出入口层(1)、泵腔层(2)、微线栅阵列驱动单元(3)和基片(4)；所述出入口层(1)，设有入口(5)和出口(6)，用于传送液体；所述泵腔层(2)，包括泵腔(7)和可形变的振膜(8)，泵腔(7)与出入口层(1)的入口(5)和出口(6)连通；所述微线栅阵列驱动单元(3)包括周期为百纳米级的微线栅阵列(9)，所述微线栅阵列(9)由栅脊(91)和栅谷(92)构成，且微线栅阵列(9)为形状记忆材料偶氮苯液晶弹性体，微线栅阵列(9)的液晶基元取向受限于微线栅阵列结构且垂直于微线栅阵列(9)的沟槽方向；基片(4)为石英玻璃。