[发明专利]一种用于溶液法薄膜制备的柔性刮刀涂布方法有效
| 申请号： | 201410634863.4 | 申请日： | 2014-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN104399648B | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 武倩;冯林润;赵浩乾;赵家庆;边惠;郭小军 | 申请（专利权）人： | 南京华印半导体有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/04 | 分类号： | B05C11/04 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人： | 陈建和 |
| 地址： | 210046 江苏省南京市经济技术开发*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种用于薄膜制备的柔性刮刀涂布方法，采用柔性刮刀(13)、刮刀固定装置(14)和位移平台(15)；所述待涂样品位于位移平台(15)平面之上；所述刮刀固定装置(14)位于柔性刮刀(13)与位移平台(15)之间以固定柔性刮刀(13)不让其脱落；所述位移平台(15)连接柔性刮刀(13)且保证刮刀水平方向与样品平面平行，将所述柔性刮刀(13)由自身重力在样品之上与样品表面轻微接触；通过制备一层阻挡层，通过阻挡层的表面和柔性刮刀接触从而利用阻挡层的厚度去控制所需薄膜的厚度；当制备超薄薄膜材料时省略掉阻挡层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 溶液 薄膜 制备 柔性 刮刀 方法 | ||
【主权项】：
一种用于薄膜制备的柔性刮刀涂布方法，其特征是采用如下设备：柔性刮刀(13)、刮刀固定装置(14)、位移平台(15)；待涂样品位于位移平台(15)平面之上；所述刮刀固定装置(14)位于柔性刮刀(13)与位移平台(15)之间以固定柔性刮刀(13)不让其脱落；所述位移平台(15)连接柔性刮刀(13)且保证刮刀水平方向与样品平面平行，将所述柔性刮刀(13)由自身重力在样品之上与样品表面轻微接触；制备一层阻挡层，通过阻挡层的表面和柔性刮刀接触从而利用阻挡层的厚度去控制所需薄膜的厚度；所述阻挡层为不溶于后续加工所用溶液的有一定厚度的任意材料；刮刀利用重力下垂在待涂样品表面，刮刀是下部宽的三角形或者梯形形状；为了保证所涂布薄膜的表面平整，柔性刮刀刃口为直线型或锯齿形形状；在样品表面轻放柔性刮刀，保证柔性刮刀表面与样品由刮刀重力作用轻微接触；通过选择合适的位移平台的参数，通过刮刀的移动来控制溶剂挥发和薄膜的生长；所述位移平台移动速度可控、移动方向可控；其中刮刀的移动速度范围为1 mm/s至10cm/s。
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