[发明专利]带有仿蛾眼纳米结构的晶圆透镜阵列模具及其加工方法在审
| 申请号： | 201410630217.0 | 申请日： | 2014-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN104441370A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 万新军;杨波;庄松林 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | B29C39/34 | 分类号： | B29C39/34;B23P15/24;G03B3/00 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带有仿蛾眼纳米结构的晶圆透镜阵列模具及其加工方法，带有仿蛾眼纳米结构的晶圆透镜阵列模具及其加工方法，利用此模具可以直接复制出带有仿蛾眼纳米结构的晶圆透镜阵列，此晶圆透镜阵列不需要镀增透膜即可达到可见光波段的宽光谱减低反射效果，因此极大简化了晶圆透镜阵列加工的工艺流程，而且避免了回流焊温度引起的增透膜破裂脱落等问题，具有明显的实际经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 仿蛾眼 纳米 结构 透镜 阵列 模具 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种带有仿蛾眼纳米结构的晶圆透镜阵列模具，其特征在于，为一种2寸到8寸的金属模具，在其表面上分布着数个微型透镜曲面型模且形成阵列的形式；在所述金属模具的每个微型透镜曲面型模表面上分布有仿蛾眼纳米凹陷结构，此仿蛾眼凹陷结构由二维分布的多个凹部组成，所述多个凹部从表面的法线方向看时凹部孔径直径在50‑300nm之间，相邻凹部的中心间距在100‑600nm之间，凹部的深度在100‑1000nm之间。
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